解读显微光谱技术在半导体领域的应用

在半导体行业中，为了全面揭示新化合物的特性，必须依赖多种技术手段进行综合表征。在当前众多广泛采纳的表征技术中，光学显微光谱平台，特别是拉曼显微镜，能够在单一集成系统内同时提供物理与化学性质的深入信息。因此，通过结合拉曼显微镜与光致发光显微镜的应用，可以高效地完成诸如工艺验证、晶片均匀性评估及晶片缺陷检测等一系列核心任务。

在本次讲座中，我们荣幸地邀请到 HORIBA 拉曼应用领域的专家 Thibault Brulé 博士和市场应用专员 Agnès Tempez 博士，他们将为大家重点介绍光致发光显微镜和拉曼显微镜如何应对半导体领域的挑战，还将展示如何将显微光谱与原子力显微镜（AFM）相结合，以实现纳米级分辨率并进一步深化对这些结构的理解。

推荐参加人员:

• 从事半导体材料开发的科学家
• 寻找半导体材料表征新方法的科学家
• 拉曼光谱仪用户

您将了解:

• 拉曼显微镜能够解决的半导体领域不同挑战
• 拉曼显微镜为半导体行业带来的市场前景
• 拉曼显微镜为什么能作为半导体材料表征的理想技术