DeltaPsi2软件具有灵活的测量能力,包括:
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椭偏仪分析的全部性能
DeltaPsi2软件包括大量的高级建模功能,以提供广泛应用所需的多种功能和性能。
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利用先进的建模功能,多种设计的建模特点,提供准确的建模过程,从而找到合适的解决方案。
灵活准确的处理您的结果DeltaPsi2软件提供了先进的功能,可以简单可靠地处理椭偏仪测量数据。
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用户友好的操作
设计了三种用户模式(研究,制造和质量控制)便于操作。
- 研究模式可自主修改模型、材料函数公式、数据采集等
- 制造模式为一键式操作,全自动化的分析序列:采集+建模+成像+结果。
- 质量控制模式,新的Auto software软件包,操作简单易学。
简单的全自动流程
- 全自动化的数据采集+建模+成像+结果,有利于常规薄膜分析。
- 统计分析
- 半导体晶圆和玻璃面板上成像结果的可视化
- 自动聚焦和模式识别
- 先进的通信协议(RS232, TCP/IP)