测试气体生产原理 | 通过稀释 |
精度 | <±2% 重现性 |
可选:臭氧发生器 | 通过恒温控制外壳的紫外线管产生内部O3 ; 最大浓度为±500ppb(1L/分钟) |
温度 | 40~75℃ 可调节,预设70℃,用于UV室 |
规定 | 通过PD控制器与PT100传感器 |
精度 | 0.1°C |
设定目标温度/可选 | 通过HMI(屏幕菜单) |
显示实际温度/可选 | 在HMI(屏幕菜单)上 |
气体流量控制器校正气体 | 标准流量:1个质量流量控制器(MFC);可选:2个用于动态流量的质量流量控制器(MFC) |
气体流量控制器稀释气体(零气) | 1个质量流量控制器(MFC) |
MFC的精度 | 当前值的±0.8%加上±0.2%F.S. |
MFC的重现性 | <读数的0.2% |
压力灵敏度 | 0,1% /bar, 典型气体 N2 |
入口压力 | 2bar |
流量范围标准气体 | 5~50ml/分钟 和 25~250ml/分钟 |
流量范围零气 | 0.08~5L/分钟 |
稳定性控制 | <±0.1% F.S. |
预热时间 | 30 分钟 |
流量显示 | 通过HMI(屏幕菜单) |
电源 | 110-230V, 50-60Hz |