VCC-100

蒸汽浓度控制器

液体和固体的气体输送方法之一就是鼓泡法。鼓泡法广泛应用于化学气相沉积制程。通过应用 NDIR 技术和 HORIBA 开发已久的阀门技术，VCC-100 可以在鼓泡器下游保持恒定的浓度，以满足先进制程控制时代的行业要求。

事业部: 半导体

制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

易安装

占地空间小

易用

2 种控制模式

Model	VCC-110	VCC-120
Cell Length	5mm	50mm
Target Chemicals	TMGa, DEZn, IPA	TMIn, TMIn, TEGa, TMGa, TMAI, DEZn, IPA
Target Flow Rate	0.3 - 10 SLM
Operating Pressure	30 - 300 kPa
Cell Temperature	60 degree C
Fitting	1/4 VCR male
Communication	Analogue / Digital, DeviceNet
Power Requirement	+/-15 v DC (Analogue/Digital) 24 v DC (DeviceNet)
Heater Power	200 - 240 v AC
Dimensions	155 x 59 x 140 mm

目前的半导体工艺需要原子尺度的工程。虽然气体可以通过质量流量控制器 (MFC) 精确控制，但有必要澄清汽化液体或固体前驱体的现象。前驱体递送不稳定会引起工艺变化，影响制造成品率。

如您有任何疑问，请在此留下详细需求信息，我们将竭诚为您服务。

姓

名 *

公司院校 *

邮编 *

城市

国家/地区 *

省份

E-Mail *

电话

HORIBA部门

您的详细需求 *

我已阅读并同意HORIBA的隐私政策

* 这些字段为必填项。