UVISEL相位调制椭偏仪表征DNA传感器垫

本文中研究的样品是安装在硅片上的DNA传感器层，通过氧化物层将传感层连接到硅片上。连接子和DNA传感器层之间的折射率对比非常小，需要非常高灵敏度的设备进行测试。