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GD-OES 通过密集等离子体对材料的感兴趣的区域进行快速溅射,并对激发出来的溅射物质产生的特征光谱进行实时光学分析。
随着脉冲射频源的发展和“UFS”的发明,该技术可用于聚合物材料的开发和表征。添加剂可以被检测到到和定位,快速揭示材料的结构,因此可以用于控制和优化加工过程。
图 1 说明了多层聚合物上的 GD-OES 深度分布,通过代表性元素来区分层结构。虽然GD-OES 无法获得分子信息(可由拉曼光谱给出),但通过对代表性元素的观测和各元素随深度的强度变化(与材料的溅射速率变化相关),清楚地揭示了多层化合物的结构。
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