多晶硅中碳的定量分析

多晶硅作为硅片的重要原材料，其内部的碳含量直接影响硅片的导电性能。随着高纯度硅片的广泛应用，准确了解多晶硅原材料中的碳含量并对其进行精确控制至关重要。然而，研究人员面临的挑战在于，碳在这些材料中可能以多种形态存在，如以碳酸盐形式或以 CO₂ 形式附着，这种复杂性使得在极低浓度下分析碳含量并区分其具体存在形式变得异常困难。