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The aim of this work is to show the capabilities of the Auto-SE ellipsometer to perform localized measurements at short scale thanks to its very small light-beam spots and the unique integrated MyAutoView vision system.
相较于LCD技术，OLED技术具有效率高、显示质量高、对比度高、能耗低等优点，在显示技术中发挥着重要作用。此外，OLED使用的是有机可回收材料，生态方面友好。然而要想提高器件的性能，还需要对其光学和结构特性有深入的了解。椭圆偏振光谱可以提供这些信息，它无损、灵敏度高，可以表征埃级厚的膜层，并提供有关表面状态的信息以及复合材料的微观结构等。
本文主要是展示Auto SE可视化微光斑技术，在微光斑下测试小区域的能力。可视化微光斑技术能够瞄准非常小的待测区域。
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