在半导体行业中，为了全面揭示新化合物的特性，必须依赖多种技术手段进行综合表征。在当前众多广泛采纳的表征技术中，光学显微光谱平台，特别是拉曼显微镜，能够在单一集成系统内同时提供物理与化学性质的深入信息。因此，通过结合拉曼显微镜与光致发光显微镜的应用，可以高效地完成诸如工艺验证、晶片均匀性评估及晶片缺陷检测等一系列核心任务。

在本次讲座中，我们荣幸地邀请到 HORIBA 拉曼应用领域的专家 Thibault Brulé 博士和市场应用专员 Agnès Tempez 博士，他们将为大家重点介绍光致发光显微镜和拉曼显微镜如何应对半导体领域的挑战，还将展示如何将显微光谱与原子力显微镜（AFM）相结合，以实现纳米级分辨率并进一步深化对这些结构的理解。

本应用报告了脂质纳米管(LNTs)作为碳模板用于制造纳米结构的TERS表征。据悉，这些脂质纳米管(LNTs)是最小的具有表面图案的有机模板。TERS成像能够以数十纳米的空间分辨率识别LNTs的化学特征。

目前还不清楚共晶纳米颗粒（共结晶性与纳米结构相结合）如何比单一化合物晶体具有更好的性能。只有探测单个纳米颗粒的技术才能找到答案。

有机忆阻器的出现受到了低重复性、耐久性、可扩展性和低开关速度的阻碍。了解分子尺度上的主要驱动机制将是提高这种有机基器件的坚固性和可靠性的关键。

AFM-Raman及其TERS模式，以10nm的空间分辨率显示了氧化石墨烯（GO）片表面结构缺陷和化学基团的纳米图谱分析。TERS图谱与KPFM测量相结合，用于GO表面的实时形貌学、电学和化学成像。这种多参数测量方法扩展了TERS的应用能力，展示了纳米尺度上局部的化学成分和物理性质的直接相关性，这不仅仅适用于2D材料，它几乎可以适用于任何样品表面。

本应用案例揭示了侧面照明/收集方式术成功应用于测量液体中TERS研究的关键仪器细节。这种能力旨在为多相催化、电化学、细胞生物学和生物材料等许多应用带来突破。在这篇文章中，石墨烯氧化物薄片和碳纳米管浸入水中的纳米尺度化学成像与真正的非接触原子力显微镜图像一起显示优于20nm的高分辨能力。

道路机动车辆排放的低于23nm的颗粒物引起了人们对人类健康的新关注。除了测量粒子的数量和质量外，还必须确定纳米粒子的表面化学成分，以了解其与环境的潜在反应性。

本应用案例报道了未来纳米级电子和光电器件的高潜力半导体的二维材料（TMDCs）的纳米特性。扫描探针显微镜通过等离激元增强耦合光致发光（PL）和拉曼光谱技术，获得纳米尺度下的关键形貌信息和电子特性，从而产生纳米尺度下的相关电学和化学信息。

本篇应用文档报道了TERS 表征沉积在镀金衬底上的磷脂双分子层，该样品可以用作标准样品，检测到脂质成分在纳米尺度上的分布。此外，还引入了纳米材料来模拟纳米颗粒和细胞膜之间的相互作用，帮助更好地研究纳米材料对人类健康的毒性。 TERS 检测磷脂双分子层中纳米颗粒的灵敏度可以低至飞摩尔浓度，空间分辨率低至 7 nm。还开发了一种特定的液体样品池，可以实现在溶液中进行 TERS 测量，应用文档中提供了测试氧化石墨烯样品的结果。

本应用报告介绍了对电子束光刻法制造的石墨烯纳米带（GNRs）的TERS表征。TERS可实现的化学纳米尺度分辨率揭示了GNRs边缘的无定形碳的存在，并定位了有机残留物。TERS可以被认为是表征纳米石墨烯的一个有价值的工具，这是开发基于石墨烯的纳米设备的一个重要步骤。