GR-300 系列

晶圆背面冷却系统

GR-300 系列可以控制用于冷却晶圆背面的气体，晶圆通过静电卡盘系统固定到位。

GR-300 系列的稳定性和精确性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的理想选择。