光谱范围 | UV-VIS-NIR 自由光路消色差耦合 |
金刚石切削收集镜 | 抛物镜 |
200 mm 伸缩臂 | 真空下马达微调 |
CL 成像探测器 | 标准: 全色光和单色光CL,室温 PMT |
CL 光谱仪类型 | iHR 320, iHR 550 (320 to 550 mm 焦长),多达 3 光栅塔, 2入口/2出口 |
升级可行性 | 可在PL, MicOS系统上升级 |
电子束控制 | CL-LINK 控制多个采集过程 (模拟, 脉冲, SE), 线扫描成像, |
软件 | LabSpec 6™控制光谱仪和成像 |
远程控制器 | 可选 |
Clue 附件 | 偏振, ND 滤光片, 摄像机, EMCCD 等 |
SEM 附件 | 液氦/ 液氮制冷台, EBIC 探测器和其它可兼容 CLUE 系列的附件 |