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3.65
MB
PD10 Brochure
| 型号 | PD Xpadion | |
| 尺寸 | (W) x (D) x (H) | 1,000 x 1,850 x 1,600 mm |
| 重量 | 约 950kg | |
| 检测颗粒大小 | 图案 | 0.5 μm / 0.35 μm (0.1 μm : 空白掩模)*¹ |
| 玻璃 | 5.0 μm (0.5 μm - : 高灵敏度选项)*¹ | |
| 贴膜 | 10.0 μm (0.5 μm - : 高灵敏度选项)*¹ | |
| 光源 | 633 nm 氦-氖激光器 或 488 nm 固态激光器 | |
| 掩模尺寸 | 5 inch - 9 inch | |
| 机壳开口器 | SMIF POD, 兼容各种机壳 | |
| 吞吐量 | 约 12 min (从检测开始到2面 (6 inch检测) 结果显示) | |
| 面板表面处理 | 不锈钢 | |
| 安装环境 | 清洁度 | Class6 ISO 标准 或 更好 |
| 温度 | 23 +/- 1°C | |
| 公用设施 | 电源 | AC200-240 V, 2 kVA 50/60Hz, 单相 |
| 真空源 | 压力 -80 kPA 或 更低 | |
| 压缩空气 | 0.6 MPa - 0.7 MPa | |
| 新功能 / 选项 | 掩模边缘处理 | 可 |
| 自动捕获 / 自动调整大小 | 可 | |
| 数据预览功能 | 可 | |
| 减少误检功能 | 可 | |
*PSL等效，HORIBA推荐客户样本测试以验证检测灵敏度。
