XGT-9000SL

超大样品室微区 X 射线荧光分析仪

保证安全的条件下对大尺寸样品进行微观分析

  • 超大样品仓空间: 1030 mm x 950 mm x 500 mm [宽x深x高]
  • 大扫描区域:高达350 mm x 350 mm
  • X 射线辐射防护(符合IEC61010-1/JAIMAS0101-2001)
  • 超高强度X射线探头的光斑尺寸小于15µm,兼具高灵敏度和高空间分辨率
  • 双检测器配置,同时检测荧光 X 射线和透射 X 射线
  • 可搭载 He 吹扫模块,检测元素范围下探至 C 元素
事业部: 科学仪器
制造商: HORIBA, Ltd.

彻底改变大样品分析的现状,扩展应用范围

XGT-9000SL 系列的超大样品室设计,其容积尺寸为:1030 mm(宽)x 950 mm(深)x 500 mm(高),同时,它还配置了 500 mm x 500 mm 大样品台。这一组合为研究人员无损元素分析大型样品,如:绘画、大型印刷电路和制动盘等提供了便利。此外,研究人员可以在同一平台上放置多个小尺寸样品,实现顺序分析,大大提升了工作效率与灵活性。

 


荧光X射线和透射X射线双探测器

XGT-9000SL 系列同时配置两种类型的探测器。一种是荧光 X 射线探测器,它提供样品的元素分布信息;另一种是透射 X 射线探测器,它提供样品的内部结构信息。XGT-9000SL 可以同时获得同一区域两种类型的图像。这一功能特别有助于更好地了解电子产品、含有夹杂物的宝石和生物样品。

印刷电路板的元素分布图像和透射 X 射线图像的同时成像
(左)叠加的元素分布图像显示 IC 芯片里有异物。(右)透射X射线图像显示 IC 芯片中有许多空隙。

 


射线屏蔽防护室确保用户免受 射线辐射伤害

XGT-9000SL 具有强大的 X 射线屏蔽功能,可防止 X 射线辐射(符合 IEC-61010-1/JAIMAS0101-2001标准)。通过透明防护罩(1),研究人员可以在测量过程中轻松地观察和监测样品室内的样品,无需担心安全问题。该系统还包括位于前面板上的 X 射线辐射指示器(2),当 X 射线处于活动状态时起到提醒警示的作用。此外,XGT-9000SL 在样品室门上配备了联锁装置(3),防止在系统运行时用户意外打开舱门。

 


多重安全功能保护珍贵样品免受碰撞风险

多重安全功能,确保珍贵样品得到 100% 的保护:

  1. 样品台位置计算:软件可以根据样品高度的输入值计算安全初始位置。这意味着样品台将向上移动并停在合适的位置,从而最大限度降低与光学器件或其他敏感部件发生意外碰撞的风险。
  2. 激光传感器:即使输入了不准确的样品高度,该系统也可以通过激光传感器检测样品的位置,并在样品与光学器件接触之前停止样品台上升。
  3. 样品台锁:XGT-9000SL 系列配备了精密的样品台控制器,该控制器具有安全锁功能。即使操作人员以错误的方式操作样品台,样品台也不会超出指定的安全位置。

 


灵活且用户友好的软件界面

XGT-9000SL 系列软件具有高度灵活和用户友好的界面。数据树、光学图像、光谱结果、元素周期表和扫描成像结果皆可一目了然。用户可以自定义屏幕上的布局,并将结果显示在多个显视器上,方便研究团队进行数据分析。

除了标准的软件功能外,研究人员还可以在软件包中添加高级模块,体验更全面的各项高级功能。

  • 多层膜 FPM 检测模块,用于带/不带标准样品的膜厚测量
  • 用于 RoHS 筛选的 RoHS 检测模块
  • 用于无人值守模式下自动多重测量的队列检测模块
  • 用于颗粒分析和共定位分析的颗粒检查模块
  • LabSpec Link模块,用于将数据导入到 LabSpec 6 行多变量分析

 



应用案例


型号
XGT-9000SL
XGT-9000SL ProXGT-9000SL C

基本信息

   名称

超大样品室微区X射线荧光分析仪

   原理能量色散X射线荧光光谱法
   可检测元素F (9)* - Am (95)C (6)* - Am (95)
   样品室内部尺寸1030 mm (宽) x 950 mm (深) x 500 mm (高)
   最大样品质量10 kg
   最大扫描区域

在最大可扫描样品 500 mm (W) x 500 mm (D) 上最大 350 mm x 350 mm


样品观察

   光学图像观察两个高分辨率相机
   全景图像
   细节图像
5M像素,视场:350 mm x 350 mm
5M像素,视场:2.5 mm x 2.5 mm
   光路设计同轴的 X 射线和光学观察系统垂直检测
   样品照明/观察顶部、底部和侧面照明/明场和暗场


X 射线发生器

   功率最大50 W
   管电压最大50 kV
   管电流最大 1 mA
   靶材铑(Rh)


X 射线导管(探头)

   X 射线探头束斑尺寸选择可以提供各种探头组合
(例如:可选择15 μm 超高强度探头和100 μm 超高强度探头组合)


检测器

   荧光 X 射线检测器无液氮制冷硅漂移检测器(SDD)
   透射 X 射线检测器NaI (Tl)

工作模式

   样品检测环境局部真空
大气
He吹扫(可选)*
局部真空
大气
He吹扫(可选)*

仪器外形尺寸(主机)

   外形尺寸1090 mm (宽) x 1380 mm (深) x 1820 mm (高)
   重量约 550 kg

*He 吹扫条件是 XGT-9000SL Pro 检测低至氟或 XGT-9000 SL C 检测低至碳所必需的。

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