激光微加工技术会引起晶体样品内部不同类型的结构变化，分析加工后波导截面上钕激光离子的荧光属性可以观察到这些变化。LabSpec软件可以分析发射荧光峰，从而给出 940 nm 附近每个 sub-Stark 过渡峰的强度、半高宽（FWHM）以及势能的三维分布图。
荧光强度的三维分布图可以揭示出其中发生的不可逆激光损伤，这种损伤导致荧光强度下降。半高宽（FWHM）的分布图可以揭示出激光引起的晶格无序结构。而能量位移图则揭示出激光所导致的应力，包含激光辐射区域周围的压应力和张应力。
图中左列的二维和三维分布图对应于加工获得的光波导，而右列则显示出光波导经过一次退火处理后所发生的变化，即消除了激光所引起的热可逆晶格缺陷。
数据由西班牙马德里自治大学激光光谱学组提供