与 ICP-OES 相比，原子吸收技术可分析的元素比较少。能够使用火焰原子吸收检测的元素不足 70 种，而能够使用炉原子吸收检测的元素不足 45 种。
石墨炉原子吸收和火焰原子吸收都是单元素技术，都有有限的动态范围，不同元素的动态范围又各不相同。使用这种技术分析几个元素时，需要运行几次和稀释几次，很耗费时间。
火焰原子吸收的灵敏度不如 ICP-OES，它能够达到的检测极限为 mg/L。只有石墨炉原子吸收的检测极限可与 ICP-OES 相媲美，但不足的是分析时间更长，每个样品、每个元素的分析时间长达 10 分钟。
石墨炉原子吸收和 ICP-OES 一样，不需要监视、允许通宵分析、都需要使用惰性气体（氩气或者氮气）。对于火焰原子吸收，可燃混合气体可用乙炔-空气或乙炔-一氧化二氮。不过乙炔-一氧化二氮火焰比较难控制，两种气体的比例可能会导致爆炸。
ICP-MS 是一种多元素技术，可分析的元素与 ICP-OES 一样多。等离子体用作离子源，系统使用专用接口将离子导入到等离子体中，这种专用接口由两个小锥孔组成，允许从高温、常压到室温、真空，离子可根据它的质量和电荷由质量分析仪检测。
ICP-MS 的主要优势在于其能够进行同位素分析、同时检测极限很低，能够达到 ng/L 的水平。ICP-MS 的缺点是其不能进行高溶解固体样品的分析测试，因为内室接口可能会被沉积物堵塞。一般ICP-MS测试的溶解性固体必须限制到0.2%（2g/L），这就意味着许多样品需要进行稀释。
ICP-MS 的使用成本比 ICP-OES 高很多，因为它需要无尘室和高纯试剂。由于离子是有质量的存在，需考虑为检测器提供备件而加大了营运成本。离子被传送到检测器时可能会造成记忆效应，导致 ICP-MS 需要更多的维护，因此，在一个样品到另一个样品测试时需特别留意，以避免偏差。相反的，ICP-OES产生的光子没有质量、没有记忆效应，使得这项技术更加简单、需要的维护也更少。