TERS 针尖的制备工艺？

TERS针尖的制作主要有两种途径，一种是使用金属镀层的标准AFM针尖 (部分或全部)，另一种是用金属线电化学腐蚀而成的全金属针尖²²。后一种针尖安装在石英谐振器的分叉上供STM或者剪切力显微镜。现在最常用的方法是用几十个纳米的金或者银的薄层把传统的AFM悬臂金属化。形成镀层通常是采用蒸镀^8-9、喷涂10或电镀的方法^11-12。形成镀层后立即用聚焦离子束 (FIB) 对镀层进行刻蚀可以减少镀层自身的天线效应，提高电磁场增强¹³。利用聚焦离子束纳米加工可以最终获得不同尺寸的尖端，从而实现等离子体共振波长的可调谐性，这种方法也适用于体相金属线腐蚀方法获得的针尖¹⁵。

为了获得AFM-TERS针尖更大的增强，一种方法是在AFM针尖近邻处移植一颗纳米颗粒。例如，可以通过光照射含有硝酸银和还原剂的溶液¹⁶，在悬臂末端还原生长银纳米颗粒。通过改变银纳米粒子沉积和退火条件，使得其增强效率可调节。

将纳米粒子做成呈圆锥形，可以是电场线变的密集，使针尖尖端的电荷密度变大，从而极大提高所产生的增强。自上而下制作金属纳米锥的方法是：通过电子束光刻的方法在聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA) 层中产生纳米洞，用蒸镀的方法把金属填充到洞中，形成圆锥形的纳米粒子，然后去除PMMA^18-19。还有一种方法是金属层通过干法刻蚀，在防护面之下形成纳米锥体。