D700WR

宽范围压敏质量流量计

D700WR 安装了一个新的节流器，专为大范围控制应用设计，基于 CRITERION™ 技术，具有高精度性能。D700WR 可将流量控制在全量程范围的 0.1%，帮助用户优化气体输送系统的灵活性。例如，如果系统安装了多个 MFC 用于高、低流量控制，用户可以减少 MFC 的数量，在同一位置使用另一个 MFC 用于不同的目的。

事业部: 半导体

产品分类: 流体控制

制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

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0.1～100% 宽范围控制和高精度低流量
- 为流程优化提供灵活性
≤ 500ms 递增响应
- 提供高生产力和更大的过程性能
零故障稳健的 CIP 压力传感器
- 减少大批量生产的停机时间和人工成本
10 倍更好的阀门关闭和耐腐蚀性的 PFA 喷嘴
- 鲁棒性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量
状态监控功能
- 为更智能的故障预测提供更多的内部数据

状态监控功能的输出项

流量/压力调零计数

阀门驱动计数

记录最大/最小P0,P1,P2压力

最大/最小块温度记录

总时间超过/低于压力规格

总时间超过/低于温度规格

总工作时间

总控制时间

总流动时间(每个校准实例)

总流量(每个校准实例)

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*1 请与我们联系有关支持的气体种类和发光率。
*2 在 25℃ 和 ≤1.0 × 10^-3pa (A) 条件下的保证值。
*3 输出噪声包含在重复性中。
*4 设定时间为 MFC 输出信号，23℃ N2气。其他细节定义遵循“SEMI标准E17-1011章节4.1.4”的设定时间。
*5 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒 (±10 PSI/秒)。
*6“(TYP.)”值是内部验证时具有代表性的能力值。
*7 PFA 指聚 [四氟乙烯-共全氟，(烷基乙烯醚)]
*8 PCTFE 指聚氯三氟乙烯。
*9 安装完成后，务必参照《D707WR调零程序》进行零点调整。
*10 EtherCAT^® 是注册商标和专利技术，由德国Beckhoff Automation GmbH授权。