| Applicable case | Nikon/Canon/SMIF POD/HORIBA |
|---|---|
| Throughput | Simultaneously blows the glass and pellicle surfaces to remove particles approximately for 1 min. |
| Dimensions | 1190(D) x 1150(W) x 1520(H)mm |
- 减少操作人员的日常工作，防止人为损坏薄膜
- 消除人工操作，防止静电放电损坏
- 在光罩存储设备中存储掩膜的前后去除颗粒，可以延长掩膜寿命
- 结合 PR-PD 系列光罩/掩膜颗粒检测系统，可确认去除颗粒后光罩/掩膜的状态。
