外形尺寸
质量流量控制器
这种通用质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀,可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件,SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。
通过质量流量控制器的气流可控制在不同的流量范围内:10 SCCM 至 200 SLM。
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Control Unit
Conversion Adapters
Dedicated power sources
Display Unit
Mass Flow Checker
Monitor Unit
Setting Units