光伏制造过程的过程控制与现场测量
外形尺寸
优点:
- 消除大流量气路切换引起的串扰影响
- 快速响应：0.5 秒内
- 灵活的设计：调节器可以安装在任何位置，由于使用电信号进行控制，适用于各种气体供应系统
- 入口控制型（-B 型）和出口控制型产品系列
- 在表压型或绝对压力型之间进行选择
- 符合 RoHS 标准（UR-Z704 系列）
- 超洁净：全金属结构（M 型）
优点:
外形尺寸
如您有任何疑问，请在此留下详细需求信息，我们将竭诚为您服务。
Control Unit
Conversion Adapters
Dedicated power sources
Display Unit
Monitor Unit
Setting Units
排气压力控制器
基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测
光发射光谱蚀刻终点监测仪
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
混合注入系统液体汽化器
压电阀
高温数字式质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
排气压力控制器
晶圆背面冷却系统
皮托管流量计
压电阀
数字式自动压力调节器
电容式压力计
