质量流量控制

HORIBA 提供多种质量流量控制产品，包括质量流量控制器和质量流量计。所有的质量流量控制产品都具有高精度、快速响应的特点。气流控制器的产品范围包括两类传感器：压差式传感器和热式传感器，以及多种通信方式：模拟式、数字式、DeviceNet™、PROFIBUS^® 和 EtherCAT^®。选择高精度压电陶瓷阀或更传统的电磁阀控制工艺气体。

根据气体或液体兼容性要求，可提供各种金属密封件或 VitonTM 密封件。

提供调节比达 1000:1 的各种设备。

如对灵活性有要求，可以选用多气体（用户可以设定气体类型）和多量程（用户可以设置流量范围）设备。多气体、多量程流量控制器还可减少库存量。