薄膜表征在新材料的研发阶段很重要，有助于有效的缩短新产品的上市时间，同时薄膜分析在计量步骤中也很重要，这是提高生产线成品率以减少晶圆间差异所必需的。作为从深紫外到 XRF 的光谱学领域的制造商，HORIBA 提供一系列专业的高端材料和薄膜分析工具，可用于研发、在线应用或集成到制程处理室中。

主要优点：

• 单传感器或多传感器平台
• 适用于 4 英寸、6 英寸、8 英寸和 12 英寸晶圆
• 快速测量
• 模块化且易于定制的 OEM 集成

• 全球应用支持。