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フラットカーボンセンサー導電率計
適切な導電率値を維持することで、スラリーの希釈具合を一定に保ち、ウェハ研磨工程の安定化に貢献します。
高い安定性測定レンジは0~2,000μS/cmおよび0~10,000μS/cmであり、繰り返し性はそれぞれ±0.5% F/Sおよび±1.0% F/Sと高い安定性を備えています。
測定レンジは0~2,000μS/cmおよび0~10,000μS/cmであり、繰り返し性はそれぞれ±0.5% F/Sおよび±1.0% F/Sと高い安定性を備えています。
金属コンタミフリー特殊カーボンを極材に使用しているため、金属コンタミの溶出の心配がありません。
特殊カーボンを極材に使用しているため、金属コンタミの溶出の心配がありません。
濃度換算機能薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。
薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。
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