HE-480C-GC

カーボンセンサー導電率計低濃度タイプ

耐薬品性の高いカーボンセンサーを採用した低濃度向けの導電率計です。

半導体ウェットプロセスの薬液測定に最適です。導電率を測定し、工程中の濃度管理や薬液の希釈管理、また超純水のリサイクル監視などにも最適です。

事業セグメント: Semiconductor

製品分類: Wet Process Control

製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

耐薬性・耐圧性に優れたセンサー
特殊電極を採用することで・薬液処理後のDIW Rinceの導電率値測定や循環ラインでの測定に最適です。

金属コンタミフリー
特殊カーボンを極材に使用しているため、金属コンタミの溶出の心配がありません。

豊富な温度補償機能
超純水の温度特性（基準温度25℃）、Nacl温度特性、基準温度と温度補償係数から選択できるので、測定液に応じた温度補償が行えます。

指示変換器

形式	HE-480C-GC
測定方式	2電極方式
センサ入力	1チャンネル
温度センサ仕様	白金抵抗体1000Ω/0℃
繰り返し性	※1 ±0.5％フルスケール以内 ※2 ±1.0％フルスケール以内 ※3 ±1.5％フルスケール以内（等価入力にて）
直　線　性	※1 ±0.5％フルスケール以内 ※2 ±1.0％フルスケール以内 ※3 ±1.5％フルスケール以内（等価入力にて）
伝送出力	出力点数：1点 DC4～20mA 入出力絶縁形最大負荷抵抗：900Ω 伝送出力レンジ：測定範囲内で任意設定可
接点出力	出力点数：2点警報接点出力（R1、R2）　接点形態：リレー接点 SPDT（1c）　接点容量：AC240V 3A、DC 30V 3A（抵抗負荷）　接点機能：上、下限動作（ON/OFF制御）、USP判定、異常警報、保守中より選択設定
校正機能	導電率：セル定数の補正係数入力による（パラメータ入力）温　度：基準温度計との比較校正 T D S：任意係数（0.30～1.00）による換算
ホールド機能	直前値ホールド、任意値ホールド、連続より選択設定（ただし、メンテナンスモードでは直前値ホールドになります）
自己診断機能	センサ診断（温度センサ短絡、温度センサ断線）測定範囲外 A/Dコンバータスケールオーバー変換器異常
温度補償	超純水の温度特性（基準温度25℃） NaClの温度特性基準温度と温度係数任意設定（基準温度：5～95℃　温度係数：±5％/℃）
温度補償範囲	０～100℃
周囲使用温湿度	温度：-5～45℃、湿度：20～85％（結露しないこと）
電源	AC100～240V ±10％ 50/60Hz 10VA（max）
保護構造	パネル部：IP65、リヤケース：IP20、端子部：IP00(パネル取付屋内設置型)
質量	約400g
適合規格	CEマーキング、FCC Part15
組合せセンサ	ESHシリーズ導電率GCセンサ

センサ

形式		ESH-01-L-GC5-Y-10M	ESH-1-L-GC9-Y-10M
セル定数		（約0.1/cm）	（約1/cm）
接液材質	極部	GC（ガラスカーボン）
	ボディ部	PFA
	パッキン	カルレッツ®
試料水条件		温度：0～80℃、圧力：0～0.5MPa
ケーブル長		10m、Y端子（標準）※4
取付		ねじ込み口径：R（PT）3／4
組合せホルダ		流通形ホルダEFA-30シリーズ ※5