HE-960LC

カーボンセンサ導電率計

半導体製造やFPD製造工程の薬液・純水回収に最適です。耐薬品性の2極式カーボンセンサを採用することで薬液の導電率を測定し、工程中の濃度管理や薬液の希釈管理、また超純水のリサイクル監視などにも活躍します。

事業セグメント: Semiconductor

製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

耐薬性に優れたセンサ
耐薬品性の2極式流通型カーボンセンサを採用しているので、半導体洗浄プロセスに使用される数多くの薬液種に対応可能です。

金属コンタミフリー
特殊カーボンを極材に使用しているため、金属コンタミの溶出の心配がありません。

ワイドレンジ対応
最大1000μS/cmまで測定可能です（温度補償する前の導電率の測定範囲）。

濃度換算機能
薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。