Size:
4.3
MB
分光エリプソメータ UVISEL PLUS
| スペクトル域 | 紫外 ～ 可視仕様 / 紫外 ～ 近赤外仕様の2 タイプ | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| スポットサイズ | 標準仕様：3 mm（ゴニオメータ 90°時） オプション：マニュアルタイプ Ф0.05 mm、 Ф0.1 mm、Ф1 mm | ||||
| 光源 | 75 W（オプション：150 W） | ||||
| サンプル ステージ | 通常 ステージ | Ф150 mm、高さ 20 mm、チルト調整機構有 | |||
| オート ステージ | 〈ストローク X 軸：200 mm、Y 軸 : 200 mm、Z 軸（手動）：4 mm 注 1) Ф200 mm の測定試料の場合、試料の置く位置によっては全面測定不可 注 2) 測定試料有無の自動検出なし | ||||
| ゴニオ メータ | マニュアル | 角度が 55°～ 90°において 5°刻みで手動設定可能 | |||
| 電動 | 角度が 45°～ 90°において 0.01°刻みで自動調節可能 | ||||
| 外形寸法：質量 | 外寸：約 850 （W）× 470 （D）× 700 （H） mm、質量：約 85 kg 注 1）突起部は含みません。注 2）コンピュータ関連、分光器、コントローラを除く | ||||
| 電源 | AC100 V、50 / 60 Hz（単相アース付 3 端子）、消費電力：300 W | ||||
| 排気 | ダクト径：φ100 mm、推奨排気レート：200 ～ 300 ㎥ /h | ||||
| 光源パージ用窒素ガス （150 W ランプ使用時のみ） | 流量 2.5 L/min （圧力 0.3 ～ 0.5 Mpa）、供給用チューブ 外径 6 mm / 内径 4 mm 窒素純度 99.995 % 以上 | ||||
