D700T

ベストパフォーマンスマスフローモジュール

D700Tは、クリティカルな半導体製造プロセス用に設計されたベストパフォーマンスマスフローモジュールです。圧力ベースの流量計測・制御技術を採用しており、業界をリードする再現性と正確なパフォーマンスを提供します。さらに、独創的な特許登録済みの高度な流量制御アルゴリズム・ツインバルブ構造を搭載しており、ガス供給システムが抱える複数の課題を解決することが可能です。