Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories
【主な仕様】
■対応機種
H2O/IPA/TEOS/SiCl4 他
■発生流量(ガス流量)
H2O : 10g/min (12.4SLM)
IPA : 30g/min (11.1SLM)
TEOS : 50g/min (5.3SLM)
SiCl4 : 130g/min (17.1SLM)
大流量ベーパライザ
流路配管とヒータをアルミニウム合金で鋳込んだ高い気化効率の大流量ベーパライザです。