Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
SEC-N100 Series
デジタルマスフローコントローラ
10 SCCMから1000SLMのワイドな流量制御範囲、デジタル・アナログ、 DeviceNet™, CC-Link®、PROFIBUS™, EtherCAT®から選べる通信方式を持つ多様な産業やアプリケーション向けの汎用モデルデジタルマスフローコントローラです。±1.0% S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、マルチレンジ/マルチガス機能も兼ね備えています。
- 選べる通信方式
デジタル/アナログ、DeviceNet™, PROFIBUS®, CC-Link®, EtherCAT®をラインナップ
| 通信方式 | 駆動電源 | 製品型式 |
デジタル通信 ・RS-485 F-Net protcol アナログ通信 ・0~5VDC | ±15VDC(±5%)※ | SEC-N102 Series |
| DeviceNetTM通信 | ODVA規格 | SEC-N104 Series |
CC-Link®通信 アナログ通信 ・0~5VDC 0~10VDC ・4~20mA | 24VDC（13~32VDC） | SEC-N105 Series |
プロフィバス通信 アナログ通信 ・0~5VDC 0~10VDC ・4~20mA | プロフィバス規格 24VDC(13~32VDC) | SEC-N106 Series |
| EtherCAT®通信 | EtherCAT 規格 24VDC +/-4V | SEC-N107 Series |
10 SCCMから1000 SLMまでのワイドな流量制御範囲
流量制御範囲はフルスケール流量値の2%から行えます。
- 高精度：±1.0% S.P.流量精度の向上
セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載 - 全流量域にわたる高速応答:フルレンジ1秒以内
- マルチガス/マルチレンジ機能を搭載
ユーザーサイドでガス種・フルスケール流量を変更可能。
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HORIBA is one of the world's largest gas and liquid mass flow controller manufacturers, with a range of analogue, digital and high temperature mass flow controllers along with the point of use liquid source vaporization control and delivery systems.
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