項目 | 仕様 |
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型式 | APSA-370(特殊仕様) |
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測定原理 | 紫外線蛍光方式 |
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測定レンジ | 0 -10 / 20 / 50 / 100 ppb |
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最小検出限界 (一定の条件下での代表値) | 0.1 ppb |
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応答時間(T90) | 5分以内(分析装置サンプル導入口から) |
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表示成分 | SO2 瞬時値 |
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アナログ出力 | 4 - 20 mA DC または 0 - 1 V DC |
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通信インタフェース | RS - 232 C または TCP / IP |
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サンプル流量 | 約0.8 L/min |
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測定時使用ガス | なし |
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校正ガス | N2ベースSO2ガスをSGGU-610にて希釈 |
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使用温度環境 | クリーンルームの温度環境 |
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使用湿度環境 | クリーンルームの湿度環境 |
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電源電圧 | AC100 - 120 V, AC200 - 240 V |
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装置構成(分析計/校正装置として) | APSA-370(特殊仕様) SGGU-610 |
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・SGGU-610:標準ガス発生器
・分析装置は当社の微量濃度ガス分析計APシリーズをもとに、高感度化のために検出器およびその周辺情報を変更しています。また本体サイズが異なる装置もあります。
・予期せぬ原因によりクリーンルーム内の汚染物質組成に変化が生じることがあります。それにより分析装置内の触媒酸化挙動に干渉影響が発生する場合、推奨される装置の仕様・構成が異なります。