CS-100シリーズ

リアルタイムの濃度追従性

約3秒の測定周期で300mmプロセスの濃度管理を実現。様々な方式の洗浄装置のきめ細かな濃度管理をサポートします。

簡単管理

測定はフルオートで、測定開始後の制御は一切不要です。ユーザーは薬液を導入するだけという簡単管理を実現しました。また、参照スペクトル測定は空気を使用するため、日常測定ではユーティリティとしての水は不要です。

気泡対策

脱泡機能を内蔵し、フローセル直前で気泡を分離。液を流した状態での連続測定が可能です。