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光ファイバ式薬液濃度モニター
インライン・リアルタイム測定が可能です。1台の濃度モニターで同時に最大4種(薬液またはレンジ)の測定を可能とし、ワンバス・枚葉方式洗浄装置での測定に適しています。
マルチモニタリング1台の濃度モニターで最大4種(薬液またはレンジ)まで測定が可能です。
1台の濃度モニターで最大4種(薬液またはレンジ)まで測定が可能です。
短い測定周期と高速応答性約3秒の測定周期で300mmプロセスの濃度管理をサポート。マルチバスはもちろん、ワンバス・枚葉方式の洗浄装置のきめ細かな濃度管理をサポートします。
約3秒の測定周期で300mmプロセスの濃度管理をサポート。マルチバスはもちろん、ワンバス・枚葉方式の洗浄装置のきめ細かな濃度管理をサポートします。
2タイプから選択可能リアルタイムの濃度追従を重視した、メイン配管に直接組み込むインラインセルタイプか、安定性を重視し、モニター出力を用いたフィードバック制御も可能なセルユニットタイプから選択可能です。
リアルタイムの濃度追従を重視した、メイン配管に直接組み込むインラインセルタイプか、安定性を重視し、モニター出力を用いたフィードバック制御も可能なセルユニットタイプから選択可能です。
<注記>上記以外の薬液種の濃度モニタに関しては別途ご相談ください。
* 項目は必ずご記入ください。