TMAH濃度モニター
耐薬性の高い4極性カーボンセンサーを採用し、ワイドなレンジ幅でフォトレジスト現像液の主成分TMAH溶液の濃度測定が可能です。
ワイドレンジ対応
小数点自動変更によるTMAH濃度0.000%～10.00%で測定可能です。
表示レンジ自動切替
高濃度から低濃度まで表示レンジを自動で切り替えします。また、有効な導電率分解能を維持しながら、変化をモニターすることも可能です。
耐薬性に優れたセンサー
センサーには耐薬品性の4極式流通型ガラスカーボンセンサーを採用しています。
3種測定
TMAH濃度・導電率・温度の3種類の測定が可能です。
濃度換算機能
薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。
| 形式 | HE-960H-TM |
|---|---|
| 測定方式 | 導電率測定－濃度換算 |
| 周囲使用温湿度 | 温度：5℃～45℃、湿度：20～85%（結露しないこと） |
| 電源 | DC24V ±10% 10W（max） |
| 保護構造 | パネル部：IP65、リヤケース：IP20、端子部IP00（パネル取付屋内設置型） |
| 質量 | 約550g |
| 適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 |
| 適合センサ | FES-510シリーズ（流通型カーボンセンサ） |
