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微量フッ酸濃度モニター
エッチングプロセス後のポリマー残渣物の除去に効果的な役割を果たす硫酸・過酸化水素・微量フッ酸中のフッ酸濃度管理をppmオーダーにて安定して連続測定できるため、効果的なプロセス管理を行うことができます。
安定した連続測定を実現自動中和機能により連続的に試料水を中和し、さらに独創技術で開発したフッ化物イオン電極を用いることで、硫酸・過酸化水素中の微量フッ酸濃度の連続測定を実現しました。
自動中和機能により連続的に試料水を中和し、さらに独創技術で開発したフッ化物イオン電極を用いることで、硫酸・過酸化水素中の微量フッ酸濃度の連続測定を実現しました。
用途に応じて選べる測定モード応答速度を優先した通常モード(NORMAL MODE)と試薬の消費量を節約する試薬節約モード(ECO MODE)を選択できます。また、リアルタイムに濃度を測定する連続測定のほか、間欠測定も選択して運転可能です。
応答速度を優先した通常モード(NORMAL MODE)と試薬の消費量を節約する試薬節約モード(ECO MODE)を選択できます。また、リアルタイムに濃度を測定する連続測定のほか、間欠測定も選択して運転可能です。
自動校正機能搭載モニター前面のタッチパネルや外部入力信号により、自動校正が可能です。
モニター前面のタッチパネルや外部入力信号により、自動校正が可能です。
薬品交換頻度の低減中和液の2タンク自動切換え機能搭載により、薬品交換サイクルを低減しています。
中和液の2タンク自動切換え機能搭載により、薬品交換サイクルを低減しています。
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