マスフローチェッカ
マスフローコントローラに不具合が生じている場合は、その原因追求の為にMFCのシステムを構成しているSEC・電源・表示器・設定器・ケーブル等の異常やSEC自身の不具合原因を発見しなければなりません。MFT-20では、SECを駆動、入出力している電圧をモニタしたり、MFT-20により制御する事でSECが正常であるかをチェックする事ができます。従ってSECを装置配管から取り外す前にすみやかにSECのトラブルや電源等のトラブルが確認できます。また、本体に内蔵しているポテンションメータによりSECを制御する事も可能です。