UR-Z700 Series

デジタルオートプレッシャレギュレータ

高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを採用したデジタル制御回路搭載のオートプレッシャレギュレータです。各種外部信号による遠隔操作が可能で、自動的に圧力を調整します。
接ガス部にオールメタルを採用し、デッドボリュームが極少のため、腐食性ガスや低蒸気圧ガス等にも最適です。