Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories
配管接続
VAPBOXは、流路に対して、垂直方向に設置してください。
固体材料は、十分に溶媒に溶解させてください。
仕様選定チェックシート
お客様のご要望にマッチした最適なソリューションをご提案させていただくために、おわかりになる範囲で結構ですので、以下の項目を事前にご確認ください。
材料情報
- 材料名
- CAS ナンバー
- 化学式
- 分子量［g/mole］
- 材料供給メーカ
- 比重
- 粘性
- 水分との反応性
- O2との反応性
- 熱分解温度［℃］
- 溶媒名
- 溶媒中の材料濃度［mole/liter］
- 蒸気圧曲線
気化コンディション
- プロセスチャンバ圧力
- ヒーティングチャンバ加熱温度［℃］
- 最少液体材料発生量［g/min］
- 最大液体材料発生量［g/min］
- キャリアガス名［N2、Ar、He、…］
- 最少液体材料発生量における最少キャリアガス流量
プロセス情報
- プロセス名［ALD、CVD、MOCVD、PECVD、APCVD、etc…］
- バッジ／枚葉処理
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