D700uF

マイクロフローマスフローモジュール

D700uF(マイクロフロー)は、5SCCM以下の流量アプリケーション用に設計されています。 半導体製造における低流量域の流量制御は、高アスペクト比構造の微細加工プロセスおいて極めて重要です。小流量計測に特化した部品開発と、国家標準とのトレサービリティが確保されている京都福知山テクノロジーセンターで新規開発された流量基準器により、最小0.025 SCCMの小流量を高精度に計測・制御することが可能になりました。