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高スループット
HORIBAが独自の光学設計技術で、紫外から近赤外の広い波長範囲で、高分解能で高いスループットを有する分光器を提供します。高度なエレクトロニクス技術により、高速動作かつ高ダイナミックレンジがが得られ、半導体のエンドポイントモニタや、プラズマ発光分光(OES)に最適です。HORIBAの半導体OES分光器は、お客様から長く高い評価をいただいていますが、本機種は最上位機種です。
※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。
分光器仕様
検出器仕様
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