Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
| PV-1000 | |
|---|---|
| 流量レンジ | 1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口大気圧、出口真空、N2換算) |
| 流量制御範囲 | フルスケールの2〜100% |
| バルブ方式 | ノーマルオープン/クローズ型 |
| 制御入力1 | 0〜5VDC |
| 応答性 | 0.5秒以内 |
| 使用温度 | 0〜50℃ |
| 使用圧力 | MAX.300kPa |
| 耐圧 | 1MPa |
| リーク規格 | 5×10-12Pa・m3(He) |
| PV-2000 | |
|---|---|
| 流量レンジ | 10/20 LM (入口大気圧、出口真空、N2換算) |
| 流量制御範囲 | フルスケールの2〜100% |
| バルブ方式 | ノーマルオープン/クローズ型 |
| 制御入力1 | 0〜5VDC |
| 応答性 | 0.5秒以内 |
| 使用温度 | 0〜50℃ |
| 使用圧力 | MAX.300kPa |
| 耐圧 | 1MPa |
| リーク規格 | 5×10-12Pa・m3(He) |
外形寸法図・他（単位：mm）
