真空外・軟Ｘ線用回折格子（グレーティング）

UV and Soft X-ray Gratings

ホログラフィック・イオンエッチングタイプの真空紫外軟X線用回折格子（グレーティング）です。基板上に直接、溝が形成され、溝はラミナー形状になっており、2次回折光の影響が低く抑えられています。

収差補正トロイダルタイプ、不等溝間隔 - VLS（Variable Line Spacing）-タイプに加え、溝の深さが溝方向に沿って連続的に変わる、溝深さ変化 - VGD（Variable Groove Depth）-タイプも新たに加わりました。また両方の特徴を兼ね備えたVLS-VGD回折格子（グレーティング）も提供可能です。