お問い合わせ
拠点情報
EtherCAT対応小型分光器
EitherCAT、Ethernet, USBが接続可能な小型分光器です。自社設計、自社製の凹面回折格子を搭載した分光器で、迷光や収差の小さい光学系を実現しています。200 nm-900 nm の波長範囲で、高感度・高分解能設計のため、半導体プラズマモニタ、ウェハ検査用にも使用可能です。他の波長範囲ご希望の方もご相談ください。
※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。
分光器仕様
検出器仕様
* 項目は必ずご記入ください。