VU90 Spectrometer

真空紫外小型分光器

HORIBAは自社製グレーティングを採用した、小型の真空紫外分光器を提供します。検出器も自社製品で、特別な表面処理をしたCCDを採用しており、波長範囲は115 nmから感度を有します。また、分光器内は光の吸収を抑えるために窒素雰囲気か真空に、散乱による迷光を抑えるためのブラックコーティングがされています。他の分光器と組み合わせることで、真空紫外域を含む広波長範囲の分光器が実現します。

事業セグメント: Scientific

製品分類: 小型分光器/検出器

製造会社: HORIBA Scientific

超小型真空紫外分光器
波長範囲：115nm-320nm、（他の分光器との組みあわせで近赤外まで可能）
HORIBA製凹面グレーティング、検出器を搭載した、高スループットかつ低迷光
冷却CCD搭載で高感度システム化可能
高波長分解能:0.5nm

アプリケーション

プラズマモニタ
蛍光
ガス分析
環境モニタ
ウェハ検査
食品安全管理

※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。

分光器仕様

波長範囲	115nm-320nm (高次カットフィルタは使用不可）
波長分解能	0.5nm (22um ピンホール)、 0.75nm (40um ピンホール）
波長分散	34.6nm/mm, 0.38nm/pixel
焦点距離	90 mm
コーティング	フッ化マグネシウム　（グレーティングとミラーに）
分光器内雰囲気	真空（10-6Torr)　もしくは窒素雰囲気
F値	F/10

検出器仕様

画素数	2048 x70
画素サイズ	14 umx 14um
受光面高さ	1 mm
量子効率(QE)	下記参照
窓	窓なし、もしくはフッ化マグネシウム窓
冷却温度	-45℃（真空、周囲温度25℃）、-25℃（窒素パージ、周囲温度25℃）
飽和電荷量	500,000 e¯/pixel
サンプリング速度	45kHz or 500kHz
スペクトルレート	20Hz (45kHzサンプリング）、189Hz (500kHzサンプリング）
読み出しノイズ	10e- （45kHzサンプリング）、20e-(500kHzサンプリング）
ADC分解能	16-bit
ダイナミックレンジ	50,000:1
非線形性	<0.2%
暗電流	0.1 e-/pixel/s (@-45° C)
通信インタフェース	USB 2, Ethernet and EtherCAT