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前処理用途としての活用例
EBSD 観察前の前処理としてのrf-GD-OES の活用とSEM による断面観察の事例についてご紹介します。
耐食性の高い試料に対する前処理(エッチング)
ステンレス、チタンなどの材料をはじめ、エッチングが難しい材料に対する前処理やウェットでは溶出する析出物や介在物の前処理に適しています。
組成・組織の違いを反映させるためのエッチング
鏡面研磨やFIB・CP処理によりできた凹凸のない試料表面に若干の凹凸を付け、観察しやすくするための前処理に適しています。
表面汚れ・研磨ダレの除去(プラズマクリーニング)
表面のコンタミ除去や研磨によるダレなどを除去するプラズマクリーニング的な処理も行うことが可能です。
EBSD観察の前処理
rf-GDによる前処理を行うことで、EBSP観察がより行いやすくなる場合があります。材料解析の一つの手法として、ご検討ください。
マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置(GDS)