表面分析としての活用事例

表面の酸化、界面の拡散、めっき中の不純物・添加物、変色・偏析の要因など評価・解析に用いられています。

試料最表面に堆積物層が、その下に窒素濃化層（ステンレス鋼に窒素が過飽和に固溶したS 相）が形成されていることがわかります。

水素環境下で熱処理したTi材では、材料内部、数10 μmの深さまで、水素が入り込んでいることを確認できました。水素吸蔵合金などの評価にご活用いただけます。

アルミ材料の性質を左右するボロンや窒素などの含有元素をわずか数分で100μmの深さまで迅速な分析ができました。

半導体用電極や磁性膜をはじめ、各種多層膜の膜厚・拡散・界面状態などの評価・解析に用いられています。

めっき・熱処理品のベーキング前後の水素、DLC中水素などの評価・解析に用いられています。

軽元素の分析ができるrf-GE-OESの特長を活かし、Liの評価に活用されています。Liなどのイオン化しやすい元素も安定した分析が可能です。