Q. CAD図面が欲しい。HPから入手可能ですか？
A. HPには掲載しておりません。
CAD図面提供には以下の情報が必要です。ご確認の上、お問合せ下さい。
・CAD図面の形式：2D(DXF,DWG)、3D(STEP,IGES)
・正式な型式仕様及び継手情報
お問い合わせのページはこちら⇒
Q. 非該当証明書の発行は可能ですか？
A. 該非判定書ダウンロードよりダウンロード可能です。
対象製品にない場合は、別途お問合せください。
該非判定証明書ダウンロードはこちら⇒
Q. 修理依頼時に注意することはありますか？
A. 『汚染除去情報/サービス依頼書』をご記入ください。
ご返却いただいた製品が製造後７年以上経過の場合、電子部品交換を含めたオーバーホール作業を推奨いたします。
返送品発送についての注意点はこちら⇒
Q. 点検依頼した場合の作業内容が知りたい。
A. 調整と校正作業を行います。
校正作業のみをご希望の際は『汚染除去情報/サービス依頼書』にその旨をご記載ください。
Q. 推奨の校正周期はどのくらいですか？
A. 一年に1回の返送による校正を推奨していますが、校正周期はお客様にて決めて頂いています。
製品が製造後７年以上経過の場合、電子部品交換を含めたオーバーホール作業を推奨いたします。
Q. マスフローコントローラの内部のバルブでガスを止めることは可能ですか？
A. マスフローコントローラ内蔵の制御バルブは、シャットオフ性はありません。完全にガスを止めたい場合は、前段もしくは後段、又は、前後段にストップバルブを設置してガスを止めてください。
マスフローコントローラページはこちら⇒
Q. マスフローコントローラは在庫品でしょうか？
A. 在庫品ではございません。
お客様のご希望の仕様に合わせて受注生産しています。納期は都度お問合せください。
マスフローコントローラページはこちら⇒
Q. マルチレンジ／マルチガス機能（Configuration）を使う場合、何が必要ですか？
A. パソコン、専用ソフト(Configuration Software)、RS変換器、変換アダプタ、LANケーブルとなります。
Configration Software 詳細はこちら⇒
Q. 流量単位、CCM・LMとSCCM・SLMの違いは何ですか？
A. 質量流量計は本来の単位がg/minとなりますが、気体の流量を重さで表すのは一般的ではない為、0℃ 1013hPaあるいは25℃ 1013hPaの条件下における体積流量値として表しています。
・LM、CCMは25℃ 1013hPa
・SLM、SCCMは０℃ 1013hPa
校正単位を間違えると約9.2%の誤差が生じます。
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Q. コンバージョンファクタ(C.F値)とは何ですか？
A. マスフローコントローラの銘板仕様ガスと異なるガスを流す場合、表示値と実流量に差異が生じます。この差異を補正する係数がコンバージョンファクタ(C.F.)です。
基本的にC.F.値はN2を１として値付けされており、流しているガスの流量を算出することが出来ます。(※C.F.値は参考値としてお取扱い下さい。)
対象製品は、S48 Series、SEC-400 Series、SEC-E Series となります。
各種ガスのC.F.値はお問い合わせください。
Q. 水分を含むガスを流してもいいですか？
A. 基本的にはドライガスを前提としてご使用ください。
マスフロー内部で結露した場合は故障の原因となる可能性があります。
マスフローコントローラページはこちら⇒
Q. マスフローの継手は取り外してもいいですか？
A. 継手は取り外さないでください。マスフローは継手が付いた状態で調整している為、お客様で継手を取り外しを行うと保証対象外となり、さらに弊社で点検・修理が受けられなくなる場合もあります。
また、リークの原因や入口側の継手を緩めると精度に影響する懸念があります。
配管から外す際には継手が緩まないように、必ずマスフロー側にも工具等を使用して下さい。
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Q. ピンアサインの1番ピン、バルブ強制開閉入力の役割は何ですか？
A. 設定流量と関係なく強制オープン/クローズが出来ます。
1番ピンと+15Vを接続・・・強制オープン
1番ピンとー15Vを接続・・・強制クローズ
※通常の制御状態では、1番ピンは解放(何も接続しない）状態にして下さい。
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Q. MK3製品とMK3無し製品とでは、何が異なっていますか？
A. MK3モデルは、対象ガスを限定することにより価格をお求めやすく設定しております。
SEC-E40/50の性能は同一です。
対象ガス：N2、O2、Air、H2、Ar、He
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Q. 腐食性ガスへの使用は可能ですか？
A. 腐食性ガスには対応しておりません。
接ガス部材質に、フッ素ゴムを使用しているためです。
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Q. N100の背面の大きな銘板仕様と上面の銘板仕様が違うのはなぜですか？
Q. 発注した仕様とN100の銘板のガスとフルスケール流量が違うのはなぜですか？
A. N100の背面の大きな銘板と側面の銘板は、MR.MG.番号で製作可能な最大のフルスケール流量(N2ガス)を表記しています。
N100の上面の小銘板は、お客様のご発注時のガスとフルスケール流量を記載しています。仕様確認は、上面の小銘板をご確認ください。
※Z500X、Z700X等のMR.MGタイプのデジタルマスフローも同じです。
SEC-N100 Seriesページはこちら⇒
Q. SEC-N102の上面のLEDの状態を教えて下さい。
※SEC-N102：アナログ通信/デジタル通信(RS-285 F-Netプロトコル)仕様
A. LEDの状態です。
「緑点灯」・・・アナログ通信時
「緑点滅」・・・デジタル通信時
「赤点灯/赤点滅」・・・アラーム：ゼロ点補正異常(工場出荷時設定)
※納入後お客様でアラーム情報の変更可
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Q. 102/104/105などの下一桁の文字の違いは何ですか？
A. 型式の下一桁目が通信仕様を表します。
・SEC-N102：アナログ通信/デジタル通信(RS-485 F-Netプロトコル)仕様
・SEC-N104：DeviceNet™通信仕様
・SEC-N105：CC-Link®通信仕様
・SEC-N106：PROFIBUS™通信仕様
・SEC-N107：EtherCAT®通信仕様
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Q. N100MGR(W)/N100MGM(W)の「W」の意味は何ですか？
A. 継手仕様により「W」（ワイドボディ）タイプになります。
こちらは、お客様での選択の必要はありません。
SEC-N100 Seriesページはこちら⇒
Q. MGRとMGMの違いは何ですか？
A. シール材質とリークレートの違いがあります。
・MGR：ラバーシールタイプ
・MGM：メタルシールタイプ
外部リークレート及び流される対象ガスにより、適切なシールタイプをご選定ください。
SEC-N100 Seriesページはこちら⇒
Q. DeviceNet™のEDSファイルをもらうことは可能ですか？
A. 提供しています。
ご要望の場合は、型式及びDeviceNet™通信仕様をご確認の上、別途ご指定下さい。
SEC-N100 Seriesページはこちら⇒
Q. EtherCAT®のESIファイルをもらうことは可能ですか？
A. 提供しています。
ご要望の場合は、仕様によりファイルが異なりますので、別途お問合せ下さい。
SEC-N100 Seriesページはこちら⇒
Q. CF値はありますか？
A. CF値はありません。銘板記載の流体のみご使用ください。
MF-C Seriesページはこちら⇒
Q. 本体のみで動きますか？
A. 外部からの電源供給が必要です。
24Vでご使用いただく場合は、専用ケーブル（MF-C-1M/3M）をご用意しています。※24V電源はお客様にてご用意ください
100Vでご使用いただく場合は、ACアダプタ（KSW2405H)をご用意しています。
MF-C Seriesページはこちら⇒
Q. 点検校正/修理は可能ですか？
A. 点検校正/修理は対応していません。
MF-C Seriesページはこちら⇒
Q. データをロギングしたいが、出力信号を外部へ取り出すことは可能ですか？
A. 専用ケーブルが必要です。
アナログ入出力タイプ用9芯ケーブル（MF-C-1M、3M）をご使用ください。
MF-C Seriesページはこちら⇒
Q. スウェージロック継手は対応していますか？
A. スウェージロック継手に準拠するのは2重くい込み継手となり、ステンレスボディタイプに対応しています。
その他対応継手は、ワンタッチ継手、Rcとなります。
※対応継手はボディ材質により異なりますので不明な場合お問合せください。
MF-C Seriesページはこちら⇒
Q. 継手のサイズはどのようなものがありますか？
A. 適応流体により各種ラインナップしています。
ワンタッチ継手（φ６、φ８）、Rc1/4、1/4インチ2重くい込み継手です。
MF-C Seriesページはこちら⇒
Q. 流量設定はどこでしますか？
A. 製品上部に設定部(ボタン)を搭載しています。
製品上部で操作するか、外部アナログ入力で設定します。
MF-C Seriesページはこちら⇒
Q. CF値はありますか？
A. CF値はありません。銘板記載の流体のみご使用ください。
MF-F2 Seriesページはこちら⇒
Q. エラーコードLOエラーですが、どのような場合に発生しますか？
A. 流量表示はフルスケール流量の-10%～110%となっております。それ以下の流量（逆流）ではLo表示となります。
MF-F2 Seriesページはこちら⇒
Q. 積算流量の上限値を超えるとどうなるの？
A. 上限値を越えると上限値で止まります。
また、電源OFFで積算値はリセットされます。
MF-F2 Seriesページはこちら⇒
Q. 本体のみで動きますか？
A. 外部からの電源供給が必要です。
24Vでご使用いただく場合は、専用ケーブル（MF-F-1M/3M）をご用意しています。※24V電源はお客様にてご用意ください
100Vでご使用いただく場合は、ACアダプタ（KSW2405H)、ACアダプタ接続ケーブル（MF-F-1M-FL629930)をご用意しています。
MF-F2 Seriesページはこちら⇒
Q. 100Vでの使用は可能ですか？
A. 専用アダプタが必要です。
ACアダプタ（KSW2405H)、接続ケーブル（MF-F-1M-FL629930)をご使用ください。
MF-F2 Seriesページはこちら⇒
Q. 点検校正/修理は可能ですか？
A. お引取りにて点検校正作業は可能ですが、校正結果が規定の値から外れている場合、本製品の性質上、修理もしくは再調整作業はできません。
また、アルミボディ材質の製品(500LM/1000LMタイプ）は点検校正作業は対応していません。(MF-Fのみ)
MF-F2 Seriesページはこちら⇒
Q. スウェージロック継手は対応していますか？
A. スウェージロック継手には対応していません。
対応継手は、ワンタッチ継手、Rc継手です。
※対応継手はボディ材質により異なりますので不明な場合お問合せください。
MF-F2 Seriesページはこちら⇒
Q. 継手のサイズはどのようなものがありますか？
A. 流量とボディ材質に合わせて各種ラインナップしています。
ワンタッチ継手（φ6、φ8）、Rc（1/8、1/4、1/2）継手です。
MF-F2 Seriesページはこちら⇒
Q. 流量は制御しないのですか？
A. 流量センサとなりますので、制御はしません。
ニードル弁付きタイプであれば簡易的な流量制御が可能です。
安定的な制御が必要な場合は、マスフローコントローラをご使用ください。
MF-F2 Seriesページはこちら⇒
Q. S600はマルチレンジ／マルチガス機能（Configuration）はありますか？
A. マルチレンジ／マルチガス機能（Configuration）はありません。
仕様ガス以外のガスを流される場合は、コンバージョンファクタ(C.F値)による換算にてご使用ください。
C.F値はお問合せください。
Q. 新品購入時に、検査成績書、校正証明書/トレーサビリティ体系図は発行できますか？
A. 英文検査成績書が標準添付しています。
校正証明書/トレサビリティ体系図は有償にて発行可能です。※英文のみ
製品ご発注時にお申し付けください。
Q. 海外への輸出は可能ですか？
A. 旧モデルS48-32(28)-HMTは国内向けを前提として販売しています。CEマーク、RoHS指令に対応していません。
S48-BR(BM)/CR及びS600はCEマーク、RoHS指令に対応しておりますが、仕向け国の法規制により輸出可否が異なるため、弊社にお問合せください。
Q. S48-BR(BM)/CR及びS600は該非判定書は発行できますか？
A. 発行可能です。HPからDL対象外製品のため、詳細はお問合せください。
Q. MT-51/MT-51Dの外部制御は可能ですか？
A. 本製品は、アナログ通信には対応していません。
専用のデジタル通信にて可能です。ご発注時にRS232CもしくはRS485のいずれかをご指定してください。
ソフトは弊社では用意していませんので、お客様にてご用意ください。
S48 Seriesページはこちら⇒
Q. MT-51/MT-51Dは修理できますか？
A. 修理は対応していません。
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Q. 常温下で使用可能でしょうか？
A. 使用できません。
ご指定いただいた温度で調整を行っているため、仕様外の温度では正常に動作しません。
SEC-8000F/D/E Seriesページはこちら⇒
Q. 昇温は配管を温めるだけでいいのでしょうか？
A. 赤いマスフロー本体も仕様温度まで昇温してください。
黒いアンプBOX（8000CB）は常温下に設置してください。
SEC-8000F/D/E Seriesページはこちら⇒
Q. 本体の赤いマスフローと黒いBOX（8000CB）の組み合わせを変えても問題ないですか？
A. 組み合わせは変えないでください。同じMFG No（器物番号）の組み合わせでご使用ください。
黒いアンプBOX（8000CB）にマスフローの基板がはいっており、組み合わせ調整がされています。
SEC-8000F/D/E Seriesページはこちら⇒
Q. 修理依頼時に返却する必要があるものは何ですか？
A. 同じMFG No（器物番号）の赤い本体のマスフローと黒いアンプBOX（8000CB）の組み合わせでご返却ください。
SEC-8000F/D/E Seriesページはこちら⇒
Q. 購入後、すぐに使用開始したら設定値に対して、出力値にでたらめな数値が表示される。
A. ご使用前に初期設定が必要です。初期設定をしないと、正しく流量表示が出来ません。
入出力電圧信号0～5VDCを流量値に読み替えるために、5Vを接続するマスフローのフルスケール流量になるようスケーリング設定してください。
設定方法は、動画de解説ページに設定方法を掲載しています
Q. ゼロ点がズレているようだが、PEでゼロ点調整は出来ますか？
A. PEでは、ゼロ点調整は出来ません。接続しているマスフロー側でゼロ点調整を行ってください。
調整方法は、動画de解説ページにゼロ点調整方法を掲載しています。
「ゼロ点調整方法とゼロボリュームの位置(アナログマスフロー)」
「ゼロ点調整方法とゼロアジャストボタンの位置(デジタルマスフロー)」
「RE-ZERO補正方法とRE-ZEROボタンの位置(液体マスフロー)」
Q. パネルの取付方法を教えてください。
A. 製品の上下部にパネルの固定ネジがついています。
このネジを回していくと固定用のツメが起き上がり、パネルを挟み込んで本体を固定します。
＊動画de解説ページに操作説明動画を掲載しています。ご確認ください。
「PE-D20 パネルマウント固定方法」
Q. 接続及び使用可能な製品は何ですか？
A. +/-15Vで駆動し、信号出力が0-5Vを採用している弊社製マスフローコントローラ全機種に対応可能です。
また、同様の電源・信号系で駆動しているUR-Z700 Series、LF-F/LV-F Seriesにも対応しています。
Q. CO2の測定は可能ですか？
A. 水溶性ガスのCO2は、水に溶けやすいため、正確な測定ができません。
対象ガスは、N2、Air、O2、H2、He、Air、CO、CH4、C3H8などです。
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Q. SF用PS-SF-100C/PS-SF-100Dの、海外への持ち出しは可能でしょうか？
A. PS-SF-100C/PS-SF-100Dは、日本専用です。
海外でご使用の場合は、各国の電気安全法に準拠する必要がございます。
詳細については、仕向国・エンドユーザーをご確認の上、お問合せください。
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Q. 大気開放したくないガスを、配管の途中で測定することは可能ですか？
A. 原理上、体積管の出口が大気開放であることを前提としています。
出口が大気開放以外の場合、石鹸膜の上昇速度が変わり正確な流量計測ができません。
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Q. 10L/min以上のガスを測りたいのですが、可能ですか？
A. 測定流量は、最大10L/minです。
10L/min～50L/minを測定する場合、分流器(SE-0069）をご使用ください。
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Q. 検査成績書、校正証明書、トレサビリティ体系図の発行は可能ですか？
A. 発行は可能です。
ご入用の場合はお申し付けください。
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Q. SF-1U・2Uの違いは何ですか？
A. SF-1UとSF-2Uの違いは大気圧センサーの有無になります。
SF-1Uは、使用開始時に手動で大気圧設定の入力が必要です。
SF-2Uは大気圧センサーを内蔵していますので、ご使用時に大気圧を入力する手間が省けます。
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Q. PCで操作したいのだが、ソフトはありますか？
A. ソフトはありません。
取扱説明書にコマンド表の記載していますので、お客様にてプログラムを作成ください。
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Q. SF用ACアダプタ PS-SF-100Cの後継品PS-SF-100Dの変更点は何ですか？互換性はありますか？
A. 外観に変更がありますが、接続に変更は有りません。
互換性はあります。
Q. 使用する水の指定はありますか？
A. 水は、25℃での導電率0.1-0.2μS/ｃmのイオン交換水を使用ください。
導電率の高い水を使用すると、セルの劣化につながります。
蒸留水の場合は、イオン交換水を蒸留した水をご使用ください。
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Q. アラームが発生したが、どのように対処すればよいでしょうか？
A. アラームの種類を確認後、対処方法はこちらの動画de解説ページの OPGU Series『トラブル・お困りごと』をご覧ください。
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Q. セルの寿命はどのくらいですか？
A. ご使用状況やご使用頻度、またはご使用の水の純度により変動します。
電解セルの電圧チェックで、2.6V付近の場合（正常値2.1～2.6V）、交換時期が近づいてきています。
動画「メンテナンスについて」ご参考ください。
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Q. イオン交換カートリッジ（IK-8026-11）は必須ですか？
A. 必須ではございませんが、水素発生機内に循環している水を、一定の純度に保つことができるため、ご使用を推奨します。
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Q. イオン交換カートリッジ（IK-8026-11）の寿命はどのくらいですか？
A. 交換時期は、使用頻度・環境により異なります。
ご使用開始から6か月経過時が目安です。
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Q：生産中止予定QL-SG01シリーズの後継機QL-SG02シリーズは互換性はありますか？
A：QL-SG01シリーズとQL-SG02シリーズの互換性はありません。
センサ、ジェネレータ、ソフトウェアに関しては、組み合わせて使用できません。
組合せ一例
”QL-SG01-***-1A+MPA/SMPA8-*-*/****” での使用は不可
”QL-SG02-***-1A+MPA/SMPA7-*-*/****” での使用は不可
※QL-MS01（ソフトウェア）+QL-SG02 での使用は不可
製品名：残留ガス分析計Micropole System
・2024年3月末 販売中止予定
・MPA/SMPA7-*-*/****センサは2029年3月末まで販売継続
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Q. センサパラメータはなにを入力すればよいですか？
A. センサが入っているケースにパラメータ情報が記載されていますので入力してください。
パラメータ情報は個体によって異なりますので、ケースは紛失しないようご注意ください。
紛失した場合はお問合せください。
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Q：デモ機はありますか？
A：はい、ご用意しております。
センサは消耗品のため、センサのみお客様にてご購入ください。
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Q. 全圧は各ガス分圧を足した合計になりますか？
A. 分圧と全圧では二つの検出モードが存在しており、出力に違いがございます。
分圧値の足し算が全圧という計算にはなりません。
全圧は分圧の足し算ではないため、分圧が反応していても全圧が変わらず変化がない場合もございます。
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Q. 測定中に最大使用圧力以上に上昇した場合、どのようなアラームが出てどういう動きをするでしょうか？
A. 最大使用圧力を少し超えても、すぐにアラームは出ず測定を続けます。
圧力が急激に上昇してしまった場合、フィラメント過電流エラーが発生し、測定が止まります。
※エラーの発生は、フィラメント電流の閾値を超えると発生します。圧力では判断していません。
圧力が上がりフィラメントに過電流が流れると、フィラメントが消耗し、断線しやすくなってしまいます。断線の可能性は、消耗していればいるほど大きくなります。
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Q. コミュニケーションエラーが出た際の対処方法を教えてください。
A. ケーブル類を再接続の上、ソフトを再起動し、確認してください。
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Q. センサは修理できますか？
A. 修理は対応していません。新しいセンサに交換ください。
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