校正内容

対象製品：

現在調整中です。
恐れ入りますが、対象製品については 認定校正サービス専用アドレス からお問合せください。

A.下記のマスフローコントローラ、マスフローメータ、流量計です。

• STEC製マスフローコントローラ、マスフローメータ

   ただしサポート終了品の場合は、周辺機器がないために校正できないことがあります。

• 他社製マスフローコントローラ、マスフローメータ

   電源、接続ケーブル、表示器またはデジタル通信を行って流量瞬時値を表示・出力できるもの

• 他社製流量計

   流量瞬時値を遠隔で表示・出力できるもの。電源、接続ケーブル、表示器またはデジタル通信によりデータ表示を行うPCを必要とする場合があります。

注1）ガス系の接続継手が現在販売されていないものの場合は対応できないことがあります。半導体等クリーンルーム内で使用しているもの以外の場合には、ご相談ください。
 

対応可能範囲：

窒素 (N₂) ガス、5 mL/min～50 L/min (0 °C, 101.325 kPa換算、{5 sccm～50 slm}) です。認定を受けた範囲については下表及びリンク先のSCOPEをご覧ください。
NVLAPからの認定範囲には他のガスもありますが、こちらは準備の上順次校正可能としていきます。

注2）MCG継手、JSK継手、Super JSK継手などは入手困難なため対応できかねます。
 
【SCOPE】