PR-PD3 Pro

レティクル/マスク異物検査装置

幅広い種類のマスクやレティクルの異物検査が可能です。簡単な操作でパターン/ガラス/ペリクルの各面を高スループットで測定。複数倍率の顕微鏡を内蔵しているため測定後に異物観察と画像データ保存も可能です。オプションとして、検出異物のオートフォーカス、オートキャプチャー、およびオートサイジング機能を備えることができ、データ管理機能も充実。コンパクトな装置設計で設置スペースの削減にも貢献します。

コンタミネーション低減

新しいハンドリングシステムは、 レティクル端面（エッジ）をハンドリングすることで接触点を 最小限に抑え、レティクルのコンタミを抑えます。

検出感度

高出力488 nmレーザーの使用により、 複雑なレティクルパターンにおいても 高感度に検査できます。

オペレーション効率

新しく搭載された革新的なオートフォーカス機能により、 検出異物を自動で撮影し、その画像を高速で取り込み、 指定フォルダーに自動で格納します。