| 形式仕様 | CS-139E：冷却器無し CS-139EC：冷却器一体型 |
|---|---|
| 測定対象 | TMAH/H2O2(TMAH/過酸化水素水溶液) |
| 測定原理 | 吸収分光法 |
| 濃度算出原理 | 温度補償型多変量解析法 |
| 測定範囲 (質量%) | TMAH：0.00～5.00% 過酸化水素：0.00～2.00% 水：97.5～100.0% |
| 再現精度 (室温変化±1℃以内) (質量%) | TMAH：±0.10% 過酸化水素：±0.25% 水：±1.0% |
| 薬液条件 温度 | CS-139E：20～30℃ |
| 薬液条件 流量 | CS-139E：20～60mL/min CS-139EC：20～40mL/min |
| 薬液条件 圧力 | 0.10～0.20MPa |
| 測定周期 | 最小で約3秒(薬液の置換時間・冷却時間は含みません) |
| 設置温度 | 20～25℃ |
| 操作パネル | 1)濃度測定値表示：TMAH、過酸化水素、水 2)アラーム表示(TMAH、過酸化水素)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 3)アラーム値の設定(TMAH、過酸化水素)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 |
| シリアル入力 | RS-232C 1)濃度データ：TMAH、過酸化水素、水 2)アラーム値の設定(TMAH、過酸化水素)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 |
| パラレル入力 | DC12～30V(フォトカプラ絶縁) パラレル温度警報(有効/無効) |
| パラレル出力 | オープンコレクタ出力ON 時最大電流：5mA、OFF時最大電圧：30V 1)アラーム出力(TMAH、過酸化水素)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 2)装置異常 3)液漏れ |
| アナログ出力 | 4～20mA(TMAH濃度、H2O2濃度の2出力) |
| 電源 | DC24V±10%2A |
| 外形寸法 | CS-139E：205(W)×329(D)×269(H) CS-139EC：291(W)×329(D)×269(H) |
| 質量 | CS-139E：約11kg CS-139EC：約12kg |
| 取合配管寸法 | 導入用、排出用ともに外径3mm(内径2mm) |
| 配管継手 | 日本ピラースーパータイプ |
上記以外の仕様につきましては、ご相談ください。
