CS-1000 薬液モニタリングシステム

薬液モニタリングシステム

BEOLプロセス^※1で使用される、微量成分を含んだ多成分薬液の濃度管理に貢献

薬液中に含まれるppmレベル^※2の微量成分を前処理なしで検出可能です。独立したキャビネットに集約されたオールインワンシステムを製造現場に設置するだけでご使用いただけます^※3。

※1 半導体前工程の配線形成工程を指すback end of lineの略
※2 100万分の1を単位とする比率の概念。液体成分の場合、1ppmは1リットルの液体中に対象成分が1ミリグラム存在することを意味する
※3 SEMI S2取得済

事業セグメント: Semiconductor

製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

ppmレベルの微量成分を検出可能
吸光光度計の性能向上（波長域拡大と分解能向上）に加え、pH計や導電率計の信号を組み合わせて処理を行うことでppmレベルの微量成分の検出が可能になりました。

異なる2種類の薬液を同時に測定可能
装置内部にはサンプル流路を2ライン確保。流路を完全に分離することで、異なる2種類の薬液を同時に測定可能です。

半年に一度、4時間のメンテナンス
自動校正機能を備えたpH計を使用。メンテナンスは吸光光度計のランプの交換とpH計の内部液・校正液のボトルを交換するだけ。

製品名	薬液モニタリングシステム
型式	CS-1000
測定項目	薬液濃度、導電率、pH
測定原理	吸収分光法、2極式電気伝導率法、ガラス電極法
対象薬液	半導体製造プロセスで使用される多成分薬液（詳細はお問合せください）
外形寸法	700（W）×610（D）×1640（H）mm（突起物を除く）
質量	約 200kg
接液材質	キャビネット（PFA, PTFE）吸光光度計（PFA, PTFE, Quartz, Kalrez™）導電率計（PFA, Carbon, Kalrez™） pH計 - ドレン使用（PVC, PTFE, Glass, ETFE, PEEK, Olefinic resin, THV, PFA, Kalrez™, PharMed BPT） ※Karlez™はDuPont de Nemours, Inc.の商標です。
認証規格	CE , KC , FCC Rules Part15 , UKCA , SEMI S2

周囲温度	20～30 ℃（急激な室温変化なきこと、±0.5 ℃以内/1時間）
周囲湿度	40～70%RH（結露なきこと）
電源	AC 190～240V（単相）、50/60Hz
消費電力	約 355VA（起動時の過渡的電流は除く）
通信	アナログ出力: 4-20mA, シリアル入出力: RS-485 Modbus（RTU）, パラレル入出力　※ ただし、装置異常時など測定値が更新しない時は1.5mA固定

消耗品	顧客、または弊社サービスエンジニアによる交換部品ハロゲンランプ（寿命約1年）重水素ランプ（寿命約半年）試薬　pH4（JIS適合）,pH7（JIS適合）,KCl（3.33moL AgCl飽和液）（交換周期：約半年）

CS-1000